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主動控制隔振平臺- MRT-P/B系列

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MRT-P/B主動隔振平臺以連勝ZDT高性能空氣彈簧作為基本的支撐；同時配以傳感器、控制電路和音圈作動器，共同組成精密主動控制隔振系統(tǒng)。其中P/B型空氣彈簧，一方面解決了光學(xué)平臺及儀器設(shè)備的承載問題，另一方面可以對大于其隔振頻率的環(huán)境振動進行第一級過濾；對于未完全過濾掉的微小振動,則由傳感器采集平臺六個自由度的振動信號輸入控制器，由其作出迅速有效的信號處理，以控制音圈作動器，使其提供與平臺殘余振動大小相等、方向相反的力。


其主要優(yōu)勢在于： 

l  進一步消除殘余振動，大幅提升空氣彈簧光學(xué)平臺的隔振性能;

l  有效遏制空氣彈簧固有頻率附近有害的振動放大及共振，使系統(tǒng)能始終處于穩(wěn)定、優(yōu)良的工作狀態(tài)。

l  對于小的沖擊，音圈電機反應(yīng)快，使系統(tǒng)能快速的恢復(fù)到穩(wěn)定狀態(tài)。

性能指標(biāo)：


      隔振頻率

  1—200Hz

      隔振性能

  5Hz ：衰減90%,

  10Hz：衰減 95%

      負(fù)載能力

  根據(jù)平臺的尺寸而定

      單作動器最大補償力

   ±10N (垂直)，±10N(水平)

      沖擊響應(yīng)時間

   ≤300ms

      供電

   220V   50W

      工作溫度及條件

   溫度 5-40℃

   濕度 0-60%

   工作條件＜2500m 海拔高度



標(biāo)準(zhǔn)尺寸：


臺板規(guī)格

臺板尺寸（mm）

高度（m）

載荷（KG）

009006

900×600

0.8

＜135

010008

1000×800

0.8

＜200

012009

1200×900

0.8

＜270

015010

1500×1000

0.8

＜375

018010

1800×1000

0.8

＜450

020010

2000×1000

0.8

＜500

012012

1200×1200

0.8

＜360

015012

1500×1200

0.8

＜450

018012

1800×1200

0.8

＜540

020012

2000×1200

0.8

＜600

024012

2400×1200

0.8

＜720

030012

3000×1200

0.8

＜900

015015

1500×1500

0.8

＜560

018015

1800×1500

0.8

＜675

020015

2000×1500

0.8

＜750

024015

2400×1500

0.8

＜900

030015

3000×1500

0.8

＜1125


應(yīng)用領(lǐng)域： 

        掃描探針顯微鏡（AFM/LFM/STM）

        激光干涉儀

        激光共聚焦顯微鏡

        對振動有極高要求的儀器設(shè)備 

系統(tǒng)涉及概念及參數(shù)： 

l  單個作動器最大補償力：為系統(tǒng)單個作動器對平臺振動所能施加反作用力的最大值。

l  沖擊響應(yīng)時間：為系統(tǒng)受到一定量的沖擊振動后恢復(fù)穩(wěn)定所經(jīng)歷的時間；      系統(tǒng)沖擊響應(yīng)時間：300ms。

l  音圈電機：因其結(jié)構(gòu)類似于喇叭的音圈而得名，具有高頻響、高精度的特點。根據(jù)振動環(huán)境和系統(tǒng)總質(zhì)量的不同，最大可提供±10N的力。

l  傳感器：加速度傳感器，是感知外界振動信號加速度大小的器件。傳感器量程0.5g，頻率范圍0.05-300Hz，靈敏度10V/G

l  控制器：主要負(fù)責(zé)信號放大、濾波、變換、采集數(shù)據(jù)，計算，功率放大的模塊。