評(píng)定參數(shù)

評(píng)定參數(shù)

Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2

測(cè)量范圍

Z軸

800μm

X軸

50mm

直線(xiàn)度精度

直線(xiàn)度精度

0.4μm

分辨率（Z軸）

分辨率（Z軸）

0.001μm

采樣數(shù)/分解能

采樣數(shù)/分解能

9600點(diǎn)/16bit

濾波器

濾波器

高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996），2RC濾波器

取樣長(zhǎng)度

取樣長(zhǎng)度

λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm）

截止波長(zhǎng)

截止波長(zhǎng)

0.25,0.8,2.5

測(cè)量速度

測(cè)量速度

0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s

返回速度

返回速度

（自動(dòng)） 1mm/s

示值誤差

示值誤差

±5%

示值穩(wěn)定性

示值穩(wěn)定性

3%

測(cè)量重復(fù)性

測(cè)量重復(fù)性

3%

圖形放大倍率

圖形放大倍率

10-500000自動(dòng)調(diào)整

傳感器

傳感器

針尖 R=2μm鉆石（測(cè)量力1mN）

R=5μm鉆石(測(cè)量力4mN）