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Alpha-Step D-500探針式輪廓儀
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- 產品簡介
- 產品性能參數
- 適用范圍
- 服務網點
產品描述
Alpha-Step D-500探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。
探針測量技術的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關。 可調節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。 通過測量粗糙度和應力,可以對工藝進行量化,確定添加或去除的材料量,以及結構的任何變化。
主要功能
臺階高度:幾納米至1200μm
低觸力:0.03至15mg
視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭
梯形失真校正:消除側視光學系統(tǒng)引起的失真
圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差
緊湊尺寸:最小占地面積的臺式探針式輪廓儀
軟件:用戶友好的軟件界面
臺階高度:幾納米至1200μm
低觸力:0.03至15mg
視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭
梯形失真校正:消除側視光學系統(tǒng)引起的失真
圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差
緊湊尺寸:最小占地面積的臺式探針式輪廓儀
軟件:用戶友好的軟件界面
主要應用
臺階高度:2D臺階高度
紋理:2D粗糙度和波紋度
形式:2D翹曲和形狀
應力:2D薄膜應力
工業(yè)應用
大學,研究實驗室和研究所
半導體和復合半導體
SIMS:二次離子質譜
LED:發(fā)光二極管
太陽能
MEMS:微電子機械系統(tǒng)
汽車
醫(yī)療設備
臺階高度:2D臺階高度
紋理:2D粗糙度和波紋度
形式:2D翹曲和形狀
應力:2D薄膜應力
工業(yè)應用
大學,研究實驗室和研究所
半導體和復合半導體
SIMS:二次離子質譜
LED:發(fā)光二極管
太陽能
MEMS:微電子機械系統(tǒng)
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