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日立AeroSurf 1500臺式大氣壓掃描電子顯微鏡
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- 產(chǎn)品簡介
- 產(chǎn)品性能參數(shù)
- 適用范圍
- 服務(wù)網(wǎng)點
1.含水樣品也無需前處理即可在大氣壓下進(jìn)行SEM觀察
2.從低真空到大氣壓(數(shù) Pa~105 Pa),可在大范圍壓力下進(jìn)行SEM觀察
3.標(biāo)準(zhǔn)搭載ES-Corrector(電子束散射校正)圖像改善功能
4.在真空模式下,除了通常的SEM觀察之外,還可進(jìn)行EDX分析(選配)
5.主機(jī)采用330 mm寬度的小型設(shè)計,實現(xiàn)節(jié)省空間和高便利性
6.無需等待抽真空時間,快速實現(xiàn)從搭載樣品到觀察圖像的全過程
2.從低真空到大氣壓(數(shù) Pa~105 Pa),可在大范圍壓力下進(jìn)行SEM觀察
3.標(biāo)準(zhǔn)搭載ES-Corrector(電子束散射校正)圖像改善功能
4.在真空模式下,除了通常的SEM觀察之外,還可進(jìn)行EDX分析(選配)
5.主機(jī)采用330 mm寬度的小型設(shè)計,實現(xiàn)節(jié)省空間和高便利性
6.無需等待抽真空時間,快速實現(xiàn)從搭載樣品到觀察圖像的全過程
概要
大氣壓觀察(圖1)
- 樣品設(shè)置在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓環(huán)境下(105 Pa)
- 配置樣品的大氣壓倉室與SEM內(nèi)部由隔膜分離,在保持SEM內(nèi)部真空的同時,可對樣品進(jìn)行電子束照射觀察
- 而且,可通過附帶的真空泵在負(fù)壓下(約103~105 Pa)進(jìn)行觀察
低真空觀察(圖2)
- 隔膜可拆卸,還可進(jìn)行低真空SEM觀察和EDX分析
- 搭載了日立臺式顯微鏡TM系列中廣為采用的高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器
項目 | 內(nèi)容 |
---|---|
電子槍 | 預(yù)對中燈絲 |
檢測系統(tǒng) | 高靈敏度4分割半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
加速電壓 | 5 kV/15 kV |
倍率 | ×15~×60,000(使用數(shù)碼變焦時:×240,000) |
觀察壓力 | 大氣壓模式(105 Pa)(裝有隔膜時) |
負(fù)壓模式(約103 Pa~105 Pa)(裝有隔膜時) | |
低真空模式(數(shù) Pa~數(shù)10 Pa)(拆下隔膜時) | |
max樣品尺寸 | 直徑55 mm |
大小和重量 |
主機(jī):330(W)×687(D)×565(H)mm, 67.0 kg(手動操作臺) 控制裝置:220(W)×368(D)×235(H)mm, 11.8 kg 隔膜泵:145(W)×256(D)×217(H)mm, 4.5 kg ×2臺 |
更多詳細(xì)資料可來電咨詢,服務(wù)熱線:400-600-6053!